ESA系列是新研發(fā)的獨特干式真空泵,具有優(yōu)越的高速排氣性能,從而適應了LCD濺射制膜裝置,真空干燥制程,大型 L/L等工藝要求。并擁有高附加價值,對應氣體負荷自動控制轉(zhuǎn)速,高通信功能等。
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